硅麦克风

硅麦克风是通过MEMS技术在硅半导体上蚀刻压力感测膜片而制成的微型麦克风， 由微机械MEMS震膜与微电子电路ASIC芯片所组成。微机械震膜将探测到的声波信号转换成电信号，经ASIC处理放大后形成电压输出。硅麦克风声波探测技术主要有电容式、压电式、压阻式、光学式、微流式等。

用MEMS工艺来制造麦克风，让麦克风的体积更为短小轻薄。而且在体积精缩的同时仍不失精准性，在20Hz∼20 kHz的频率内都能保证正负3分贝的相应响应。由于MEMS麦克风在工艺尺寸上已接近集成微电子电路，所以能轻易与其它功效芯片ASIC集成。未来，因其成本低，性能稳定，灵敏度高等特点，已逐渐取代传统的驻体电容式麦克风, 广泛应用在手机、笔记型计算机、数字摄影机、数字音响、专业音响与车用装置上等。

超声波传感器

超声波传感器是利用超声波的特性研制而成的传感器。超声波是一种振动频率高于声波的机械波，由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的，它具有频率高、波长短、绕射现象小，特别是方向性好，具有能够成为射线而定向传播等特点。超声波传感器主要材料有压电晶体（电致伸缩）及镍铁铝合金（磁致伸缩）两类。电致伸缩的材料有锆钛酸铅（PZT）等。压电晶体组成的超声波传感器是一种可逆传感器，它可以将电能转变成机械振荡而产生超声波，同时它接收到超声波时，也能转变成电能，所以它可以分成发送器或接收器。超声波检测广泛应用在工业 (如: 防盗报警器、自动门、接近开关, 测距、液位或料位传感器, 以及材料探伤、测厚传感器)、国防、生物医学等方面。

加速度传感器

加速度传感器是一种能够测量加速力的电子器件。加速度计有两种：一种是角加速度计，是由陀螺仪（角速度传感器）的改进的。另一种就是线加速度计。

线加速度计的原理是惯性原理，也就是力的平衡，A(加速度)=F(惯性力)/M(质量) 我们只需要测量F就可以得到对应于加速度的关系。多数加速度传感器是根据压阻，电容，压电，热气泡，或光效应等原理来工作的。由加速度造成某个介质产生变形，通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输出。

加速度传感器可应用在汽车，宇航，控制，仪器仪表，地震检测，报警系统，玩具，结构物、环境监视，工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；鼠标，高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。MEMS加速度传感器因微机械结构，微型尺寸，可以直接焊接在PCB版上, 现已广泛应用在手机，游戏机市场, 和数码相机等。未来的 MEMS加速度器很有可能要结合其他类型的传感器，如地磁传感器、陀螺仪、GPS等，通过模块集成，创造新的应用亮点。