硅麦克风
硅麦克风是通过MEMS技术在硅半导体上蚀刻压力感测膜片而制成的微型麦克风, 由微机械MEMS震膜与微电子电路ASIC芯片所组成。微机械震膜将探测到的声波信号转换成电信号,经ASIC处理放大后形成电压输出。硅麦克风声波探测技术主要有电容式、压电式、压阻式、光学式、微流式等。
用MEMS工艺来制造麦克风,让麦克风的体积更为短小轻薄。而且在体积精缩的同时仍不失精准性,在20Hz∼20 kHz的频率内都能保证正负3分贝的相应响应。由于MEMS麦克风在工艺尺寸上已接近集成微电子电路,所以能轻易与其它功效芯片ASIC集成。未来,因其成本低,性能稳定,灵敏度高等特点,已逐渐取代传统的驻体电容式麦克风, 广泛应用在手机、笔记型计算机、数字摄影机、数字音响、专业音响与车用装置上等。
超声波传感器
超声波传感器是利用超声波的特性研制而成的传感器。超声波是一种振动频率高于声波的机械波,由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的,它具有频率高、波长短、绕射现象小,特别是方向性好,具有能够成为射线而定向传播等特点。超声波传感器主要材料有压电晶体(电致伸缩)及镍铁铝合金(磁致伸缩)两类。电致伸缩的材料有锆钛酸铅(PZT)等。压电晶体组成的超声波传感器是一种可逆传感器,它可以将电能转变成机械振荡而产生超声波,同时它接收到超声波时,也能转变成电能,所以它可以分成发送器或接收器。超声波检测广泛应用在工业 (如: 防盗报警器、自动门、接近开关, 测距、液位或料位传感器, 以及材料探伤、测厚传感器)、国防、生物医学等方面。
加速度传感器
加速度传感器是一种能够测量加速力的电子器件。加速度计有两种:一种是角加速度计,是由陀螺仪(角速度传感器)的改进的。另一种就是线加速度计。
线加速度计的原理是惯性原理,也就是力的平衡,A(加速度)=F(惯性力)/M(质量) 我们只需要测量F就可以得到对应于加速度的关系。多数加速度传感器是根据压阻,电容,压电,热气泡,或光效应等原理来工作的。由加速度造成某个介质产生变形,通过测量其变形量并用相关电路转化成电压输出。
加速度传感器可应用在汽车,宇航,控制,仪器仪表,地震检测,报警系统,玩具,结构物、环境监视,工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析;鼠标,高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。MEMS加速度传感器因微机械结构,微型尺寸,可以直接焊接在PCB版上, 现已广泛应用在手机,游戏机市场, 和数码相机等。未来的 MEMS加速度器很有可能要结合其他类型的传感器,如地磁传感器、陀螺仪、GPS等,通过模块集成,创造新的应用亮点。
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